








1959年,Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設想。1962年一個矽微型壓力傳感器問世,其後開發出尺寸為50~500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年,斯坦福大學研製出矽腦電極探針,後來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方麵取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研製出轉子直徑為60~12μm的利用矽微型靜電機,顯示出利用矽微加工工藝製造小可動結構並與集成電路兼容以製造微小係統的潛力。


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